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離子泵的結構（三）

(4)工作安靜，分子泵 tmp-803lm現貨，完全無(wú)振動(dòng)、無(wú)噪音。

(5)節能。所需電力和壓強成正比，剛啟動(dòng)時(shí)需要一定的電力，二手分子泵 tmp-803lm，隨著(zhù)真空度的提高則消耗電力降低。

(6)不需要真空計。由于壓強和放電電流成正比，知道放電電流則知道大致的真空度。

(7)可對惰性氣體排氣。

(8)安裝方向自由。

分子泵是高速運轉的機械設備，滾動(dòng)軸承常見(jiàn)故障很有可能會(huì )導致泵葉子粉碎立即損毀；而當滾動(dòng)軸承運行狀態(tài)欠佳時(shí)，會(huì )出現一系列的狀況，如分子泵無(wú)法啟動(dòng)，運作噪聲擴大，溫度或輸出功率出現異常提升等，在清除外部自然環(huán)境和進(jìn)排氣管工作壓力過(guò)高外部要素后，應盡早停泵，送至維修站開(kāi)展維修。

高真空泵可將腔室或系統抽空到高機械泵（10-3至10-8托）或極高機械泵（<10-8托）的壓力范圍內。機械泵和文丘里管發(fā)生器在中等偏上至粗機械泵范圍內運行

一般情況下，真空泵工作2000小時(shí)后應進(jìn)行檢修，檢查橡膠密封件老化程度，檢查排氣閥片是否開(kāi)裂，清理沉淀在閥片及排氣閥座上的污物。清洗整個(gè)真空泵腔內的零件，如轉子、旋片、彈簧等。一般用*油清洗，并烘干。對橡膠件類(lèi)清洗后用干布擦干即可。有條件的對管中同樣進(jìn)行清理，確保管路暢通

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視頻作者：廣州潽拓光電科技有限公司

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油的正常顏色是透明的淡黃色。如果油的顏色變深，說(shuō)明油被污染了?？赡苄枰鍧嵄檬?。如果泵用于排出蒸汽狀氣體，蒸汽可能會(huì )浸入油中使其乳化，并使油變成乳白色。在這兩種情況下，都必須立即更換機油。

真空油顏色異常，真空油顏色是即將發(fā)生泵故障的另一個(gè)明顯跡象。必須定期通過(guò)油視鏡觀(guān)察真空油的顏色，例如每天、每周或每月。每次只需要一秒鐘，但這非常重要。

泵的傳動(dòng)方式真空泵的兩個(gè)轉子是通過(guò)一對高精度齒輪來(lái)實(shí)現其相對同步運轉的。主動(dòng)軸通過(guò)聯(lián)軸器與電機聯(lián)接。在傳動(dòng)結構布置上主要有以下兩種：其一是電動(dòng)機與齒輪放在轉子的同一側如圖。從動(dòng)轉子由電動(dòng)機端齒輪直接傳過(guò)去帶動(dòng)，這樣主動(dòng)轉子軸的扭轉變形小，則兩個(gè)轉子之間的間隙不會(huì )因主動(dòng)軸的扭轉變形大而改變，故使轉子之間的間隙在運轉過(guò)程中均勻。這種傳動(dòng)方式的大缺點(diǎn)是：a.主動(dòng)軸上有三個(gè)軸承，增加了泵的加工和裝配難度，齒輪的拆裝及調整也不便；b.整體結構不勻稱(chēng)，泵的偏向電動(dòng)機和齒輪箱一側。

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蒸氣流擴散泵在歷shi上zui早用來(lái)獲得高真空的泵,目前仍有著(zhù)zui廣泛的應用領(lǐng)域。它是利用氣體擴散現象來(lái)抽氣的。

擴散泵就泵內工作液體的種類(lèi)來(lái)分，有用gong和擴散泵油兩種。在采用了液氮冷阱后，gong擴散泵較易獲得潔凈的無(wú)油真空,且它的zui大工作壓力較油擴散泵的為高,但因gong蒸汽有毒,故較少采用。就結構材料來(lái)分,也有兩種,即玻璃的和金屬的兩種。進(jìn)口真空泵維修廠(chǎng)家

玻璃擴散泵都是小型泉,制造容易、成本低，但抽速較小且易po裂,一般僅用于實(shí)驗室;金屬擴散泵的強度高，適于制成大型泵。一般說(shuō)來(lái)不論用何種工作液體、何種結構材料,泵的工作原理和基木結構是相同的,只在細節上有些差異。

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