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廣州潽拓光電科技有限公司——Alcatel二手分子泵維修供應商Alcatel ATH1300M維修

Alcatel ATH1300M法國阿爾卡特磁懸浮分子泵維修,Alcatel ATH1300MT阿爾卡特分子泵進(jìn)氣法蘭口DN250ISO-K/DN250CF，出氣法蘭口DN40 ISO-KF，抽速可達到1350 L/s，極限壓力6.10-6 mTorr/8.10-9 mbar

真空泵易漏氣的部位有：焊縫起焊及收焊部位，兩條焊縫交叉點(diǎn)，波紋管焊接部位，管接頭焊縫，受運動(dòng)影響的釬焊焊縫。法蘭密封或動(dòng)密封處，如果安裝前仔細清洗，裝配合理，這種部位不易漏氣。金屬一陶瓷、金屬一玻璃封接處，如引出電極、規管的高壓引線(xiàn)，管腳，管帽等處。受冷、熱沖擊影響的焊縫。Alcatel ATH1300M維修

由于羅茨泵是一種無(wú)內壓縮的真空泵，通常壓縮比很低，故中、高真空羅茨泵需要前級泵。因此，羅茨泵的極限真空除取決于泵本身結構和制造精度外，還取決于前級泵的極限真空度。Alcatel ATH1300M維修

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視頻作者：廣州潽拓光電科技有限公司

廣州潽拓光電科技有限公司——Alcatel二手分子泵維修供應商 分子泵升級改造

旋片泵為雙級結構，是由高壓級與低壓級二部分組成，它的吸入口與真空容器或真空設備連接，在運轉時(shí)容器內的氣體將大量吸入與排出。當設備獲得真空時(shí)，高壓級排氣閥片將封閉，高壓級吸入的氣體將轉送到第二級，并經(jīng)第二級吸入與排出，這樣真空設備可獲得一定的真空。根據用戶(hù)使用情況，可配備真空增壓泵，將該泵做為前級泵，由于增壓泵的抽氣力加強，前級泵連續抽除，能使設備獲得更高的真空。分子泵升級改造

真空泵抽不出液體

　　1.沒(méi)有灌注液體。解決方案：重新灌真空泵。

　　2.吸入管、出管或真空泵的流道堵塞。解決方案：消除雜物

　　3.吸入管或真空泵內沒(méi)有排凈氣體。解決方案：檢修吸入管路并排凈氣體

　　4.吸上高度超過(guò)允許范圍。解決方案：按允許吸上高度重新按裝真空泵

　　5.壓出管路太細，管路損失太大。解決方案：換適合的壓出管路

　　6.使用揚程超過(guò)了設計揚程。解決方案：重新選真空泵

　　7.輸送熱的、揮發(fā)性的介質(zhì)。解決方案：降低吸程或采用倒灌按裝。

　　8.轉向反了。解決方案：糾正轉向

壓縮比 渦輪分子泵的壓縮比是指前級管道（排氣口處）的壓力與進(jìn)氣口處的壓力之比。由于被抽氣體的分子量不同，泵對各種氣體的壓縮比也不同。 泵對氫的壓縮比很小，一般為1000左右，這樣一來(lái)如果前級管道中氫的壓力為110-7Torr（13.33Pa），那么進(jìn)氣口處氫的壓力則小1000倍，即為110-10Torr（13.33nPa）。由于氫是超高真空系統中主要的殘余氣體，所以氫的壓縮比是決定渦輪分子泵的極限壓力的關(guān)鍵因素。分子泵升級改造

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廣州潽拓光電科技有限公司——Alcatel二手分子泵維修供應商 真空泵維修價(jià)格

分子泵渦輪分子泵主要分為立式和臥式兩種。復合分子泵它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)組合起來(lái)的一種復合型的分子真空泵。臥式渦輪分子泵，這種結構的分子泵是雙軸流的，吸氣口在兩組抽氣單元的中央，氣體吸入后，分別被左右兩側的葉列組合抽走。立式渦輪分子泵，泵由泵殼、渦輪葉列組件和電動(dòng)機等組成?，F代渦輪分子泵轉子和定子之間的間隙較大，通常在lmm左右，因此泵工作時(shí)很安全。真空泵維修價(jià)格

薄膜沉積指在晶圓表面生成多種薄膜，這些薄膜可以是絕緣體、半導體或導體。它們由不同的材料組成，是使用多種工藝生長(cháng)或沉積的。通用的沉積技術(shù)有化學(xué)氣相淀積（CVD）、蒸發(fā)和濺射PVD。一般來(lái)說(shuō)，其中還要夾雜低溫（≤500℃）退火工藝等熱處理工藝，用以增進(jìn)金屬層和半導體之間的低電阻接觸、消除內應力等。設備運行過(guò)程中需要高潔凈的真空環(huán)境，一般采用以磁懸浮分子泵為主的無(wú)油真空系統。真空泵維修價(jià)格

IC制造行業(yè)屬于典型的技術(shù)密集型行業(yè)，產(chǎn)品技術(shù)含量非常高，同時(shí)對配套產(chǎn)業(yè)要求較高，其中就包括真空設備配套產(chǎn)業(yè)。真空設備（真空閥、真空泵、真空腔體及管道等）是半導體各工藝制程環(huán)節必備的通用設備，廣泛應用于芯片生產(chǎn)制造過(guò)程。真空泵維修價(jià)格

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