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瓦里安Turbo-V801分子泵維修Varian 復合渦輪泵保養，Varian Turbo-V801瓦里安渦輪分子泵進(jìn)氣法蘭口ISO160-F,出氣法蘭口KF25,分別抽速可達到680 L/s ，轉速為38000rpm，對應的控制器為：Varian Turbo-V801,

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該泵為無(wú)油、無(wú)污染型，并且具有非常低的故障率，可以在任何位置工作而不對材料施加應力。典型的 MTTF 超過(guò) 250000 小時(shí)。

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aglient TV301分子泵

   Agilent TV301 Navigator分子泵為無(wú)油、無(wú)污染型，并且具有非常低的故障率，可以在任何位置工作而不會(huì )對材料施加應力。

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    在分子泵剛剛開(kāi)始工作的階段，由于有大量的氣體由進(jìn)氣口被抽到排氣口，所以這種返流對實(shí)際抽速帶來(lái)的影響不是很大，而隨著(zhù)進(jìn)氣口壓力的下降，分子泵抽下來(lái)的氣體量在減少，這時(shí)，氣體返流對抽速的影響也就大起來(lái)了。這就是分子泵對小分子氣體，特別是氫氣的抽氣能力較差的原因。

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安捷倫渦旋式干泵采用兩個(gè)渦旋盤(pán)復合成的機械結構，由一個(gè)渦旋嵌入另一個(gè)渦旋并轉動(dòng)來(lái)捕集氣體。進(jìn)入渦旋槽內的氣體被移動(dòng)壓縮到渦旋的中信并被排出。渦旋式干泵具有噪音低，震動(dòng)小，結構簡(jiǎn)單，運行穩定，維護間隔周期長(cháng)等優(yōu)點(diǎn)，而且不易發(fā)生可能引起災難性后果的突發(fā)的故障。