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氦質(zhì)譜檢漏儀

氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里不可缺少的一種技術(shù)，用這種技術(shù)檢漏，簡(jiǎn)便易操作，儀器反映靈敏，精度高，不易受其它氣體的干擾，以上列舉的方法是檢漏技術(shù)領(lǐng)域里經(jīng)常用道的方法，包括了從小件檢漏到大件檢漏，從確定漏孔檢漏到確定漏率檢漏，比較的列舉了各種檢漏方法，相信在工程實(shí)際應用中有很好的參考價(jià)值。

再如高氣壓會(huì )干擾離子源中電子束的正常調節,還會(huì )引起高達數干伏特的離子加速電壓放電,導致?lián)p壞電離室和高壓供電線(xiàn)路。此外,高真空還有利于樣品的揮發(fā),減少本底的干擾，避免在電離室內發(fā)生分子一離子反應，減少圖譜的復雜性.生成的離子在運動(dòng)中也必須有一定的分子自由程，否則離子間的相互作用會(huì )引起離子偏轉而到不了收集器.INFICON HLD6000維修費用

總之，在質(zhì)譜測定過(guò)程中，凡是有樣品分子和離子通過(guò)以及存在的地方都必須抽成高真空。壓力要求為10-4~10-6Pa。真空系統一般包括低真級泵(機械泵)、真空泵(擴散泵和渦輪分子泵較常用)、真空測量?jì)x表和真空閥件、管路等組成,以獲得儀器所需的高真空度.

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視頻作者：廣州潽拓光電科技有限公司

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按照真空計測量原理所利用的不同的物理機制，可將主要的真空計分為三大類(lèi)，分別是利用力學(xué)性能、利用氣體動(dòng)力學(xué)效應和利用帶電粒子效應的真空計。利用力學(xué)性能的真空計典型的有波爾登規（Bourdon）和薄膜電容規；利用氣體動(dòng)力學(xué)效應的典型真空計有皮拉尼（Pirani）電阻規和熱電偶規；利用帶電粒子效應的典型真空計有熱陰極電離規和冷陰極電離規。

氦質(zhì)譜檢漏背壓法

背壓法適用于那些行業(yè)？背壓法主要用于檢漏各種電子元器件。

采用背壓法進(jìn)行泄漏檢測時(shí)，首先將被檢測產(chǎn)品放入高壓氦氣室中，浸泡數小時(shí)或數天。如果被檢測產(chǎn)品表面有漏孔，氦將通過(guò)漏孔壓入被檢測產(chǎn)品的內部密封腔，從而增加內部密封腔內的氦分壓。然后取出被檢測產(chǎn)品，將表面殘留的氦氣吹出，然后將被檢測產(chǎn)品放入與檢漏儀連接的真空容器中。被檢測產(chǎn)品密封腔內的氦氣將通過(guò)漏孔泄漏到真空容器，然后進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀，以測量被檢測產(chǎn)品的總泄漏率。檢漏儀給出的泄漏率值為測量泄漏率，需要通過(guò)轉換公式計算被檢測產(chǎn)品的等效標準泄漏率。

背壓法的優(yōu)缺點(diǎn)

背壓法的優(yōu)點(diǎn)是檢測靈敏度高，可實(shí)現小型密封容器產(chǎn)品的泄漏檢測，可批量檢測。

背壓法的缺點(diǎn)是大型密封容器不能泄漏，否則由于密封腔體積過(guò)大，加壓時(shí)間過(guò)長(cháng)。此外，每個(gè)測量泄漏率對應兩個(gè)等效標準泄漏率。仔細檢查后，需要采用其他方法進(jìn)行粗略檢查，以消除大泄漏的可能性。

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真空檢漏儀由高壓變壓器和高頻振蕩*she器組成，利用高頻電火花檢測玻璃真空器件和玻璃系統的真空程度，適用于各種燈泡、電子管、陰極she線(xiàn)管、氣體激光管、太陽(yáng)能集熱管、yi苗安瓶、藥用安瓶等生產(chǎn)過(guò)程的檢驗。

利用高壓變壓器將220V交流電壓升高到2500V或3000V，使兩電極間發(fā)生火花放電，產(chǎn)生高頻電流，并將高頻電流饋送至串聯(lián)的諧振電路中，再經(jīng)高頻變壓器升壓至180~210KV，*后在jian端電極上出強力火花。

螺桿真空泵不僅適應性寬，而且能在苛刻的條件下排氣，同時(shí)能實(shí)現高真空度(0.1~1Pa )。 因此，隨著(zhù)半導體、石油化學(xué)行業(yè)的迅速發(fā)展，螺桿真空泵作為理想的干式泵開(kāi)始廣泛應用于電子半導體、醫*化學(xué)工業(yè)領(lǐng)域，如半導體行業(yè)的蒸鍍、蝕刻、醫*化學(xué)工業(yè)行業(yè)的蒸餾干燥、中間體、溶劑回收、石*氣回收等。

廣州潽拓光電科技有限公司從事高真空設備研制、真空檢漏儀維修公司生產(chǎn)、銷(xiāo)售、工程安裝及售后維修服務(wù)于一體的綜合性企業(yè)，由從事多年真空系統開(kāi)發(fā)，真空設備技術(shù)研發(fā)，維修工程師，工程師組成的一支技術(shù)，充滿(mǎn)活力的高素質(zhì)團隊。

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