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INFICON B-A 型皮拉尼復合真空計, BPG400, 將兩種真空計集成在一個(gè)簡(jiǎn)單小型的單元內, 測量范圍從 5 x 10-10毫巴至大氣壓 (3.8 x 10-10乇至大氣壓). 復合技術(shù)降低了安裝, 設置和集成的復雜性. 選擇一個(gè)經(jīng)濟型規管內的 BPG400 用于普及和可再現過(guò)程中的基本壓強測量.阿爾卡特分子泵機組維修
壓力測量中,除ji少數直接測量外,絕大多數是間接測量。就是先在被測氣體中引起一定的物理現象,然后再測量這一過(guò)程中與壓力有關(guān)的物理量,進(jìn)而設法確定壓力值。阿爾卡特分子泵機組維修
特點(diǎn)
從 5 x 10E-10mbar至大氣壓(3.8 x 10E-10Torr至大氣壓)的很寬廣的測量范圍
10E-8至10-2 mbar壓力范圍內,±5%you秀的重復性
BCG450 10Torr以上壓力測量無(wú)關(guān)氣體組分
皮拉尼聯(lián)鎖保護Bayard-Alpert系統在高壓操作下絲極過(guò)早燒毀和過(guò)度污染
長(cháng)使用壽命氧化釔銥絲
備有可選的圖形顯示器和現場(chǎng)總線(xiàn)接口
高真空/皮拉尼自動(dòng)調節
符合 RoHS 標準
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間接測量真空計 壓力為10-1Pa時(shí),作用在1cm2表面上力只有10-5N,顯然測量這樣小的力是困難的。但可根據低壓下與氣體壓力有關(guān)的物理量的變化來(lái)間接測量壓力的變化。
屬于這類(lèi)的真空計有:
(1)壓縮式真空計:其原理是在U型管的基礎上再應用波義耳定律,即將一定量待測壓力的氣體,經(jīng)過(guò)等溫壓縮使之壓力增加,以便用U型管真空計測量,然后用體積和壓力的關(guān)系計算被測壓力。Inficon真空計 維修保養廠(chǎng)家
(2)熱傳導真空計:利用低壓下氣體熱傳導與壓力有關(guān)這一原理制成。常用的有電阻真空計和熱偶真空計。
(3)熱輻射真空計:利用低壓下氣體熱輻射與壓力有關(guān)原理。
(4)電離真空計:利用低壓下氣體分子被荷能粒子碰撞電離,產(chǎn)生的離子流隨電力變化的原理。如:熱陰極電離真空計、冷陰極電離真空計和放*性電離真空計等。
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按照真空計測量原理所利用的不同的物理機制,可將主要的真空計分為三大類(lèi),分別是利用力學(xué)性能、利用氣體動(dòng)力學(xué)效應和利用帶電粒子效應的真空計。利用力學(xué)性能的真空計典型的有波爾登規(Bourdon)和薄膜電容規;利用氣體動(dòng)力學(xué)效應的典型真空計有皮拉尼(Pirani)電阻規和熱電偶規;利用帶電粒子效應的典型真空計有熱陰極電離規和冷陰極電離規。
氦質(zhì)譜檢漏背壓法
背壓法適用于那些行業(yè)?背壓法主要用于檢漏各種電子元器件。
采用背壓法進(jìn)行泄漏檢測時(shí),首先將被檢測產(chǎn)品放入高壓氦氣室中,浸泡數小時(shí)或數天。如果被檢測產(chǎn)品表面有漏孔,氦將通過(guò)漏孔壓入被檢測產(chǎn)品的內部密封腔,從而增加內部密封腔內的氦分壓。然后取出被檢測產(chǎn)品,將表面殘留的氦氣吹出,然后將被檢測產(chǎn)品放入與檢漏儀連接的真空容器中。被檢測產(chǎn)品密封腔內的氦氣將通過(guò)漏孔泄漏到真空容器,然后進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀,以測量被檢測產(chǎn)品的總泄漏率。檢漏儀給出的泄漏率值為測量泄漏率,需要通過(guò)轉換公式計算被檢測產(chǎn)品的等效標準泄漏率。
背壓法的優(yōu)缺點(diǎn)
背壓法的優(yōu)點(diǎn)是檢測靈敏度高,可實(shí)現小型密封容器產(chǎn)品的泄漏檢測,可批量檢測。
背壓法的缺點(diǎn)是大型密封容器不能泄漏,否則由于密封腔體積過(guò)大,加壓時(shí)間過(guò)長(cháng)。此外,每個(gè)測量泄漏率對應兩個(gè)等效標準泄漏率。仔細檢查后,需要采用其他方法進(jìn)行粗略檢查,以消除大泄漏的可能性。
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