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廣州潽拓光電科技有限公司——瓦里安渦輪分子泵維修

分子泵的原理分子泵是一種動(dòng)量型真空獲得設備，子分子流態(tài)下，氣體分子與高速運動(dòng)的表面發(fā)生碰撞獲得一定方向的動(dòng)量，從而使氣體分子得到逐級壓縮，***后被抽除。

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Varian SH01101UNIV - SH-110 SCROLL PUMP Varian渦旋式干泵SH110， VarianSH110是美國瓦里安公司渦旋真空泵，為用戶(hù)提供一種完全無(wú)油的真空，其極限真空為0.1mabr, 抽速為：100L/M

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Agilent /varian 真空產(chǎn)品銷(xiāo)售、維修、二手，

Varian TV301分子泵有四種規格，分別為 Item 1. TV 301 ISO100-K Item 2. TV301 ISO160-K Item 3. TV301 Cf100 Item 4. TV301 CF160

Varian Turbo-V 301 Navigator分子泵為無(wú)油、***型，并且具有非常低的故障率，可以在任何位置工作而不會(huì )對材料施加應力。

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壓縮比：渦輪分子泵的壓縮比是指前級管道（排氣口處）的壓力與進(jìn)氣口處的壓力之比。由于被抽氣體的分子量不同，泵對各種氣體的壓縮比也不同。

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真空泵油積碳，發(fā)黑，像油泥一樣，所以在排氣口處出現冒油煙。出現這種情況時(shí)，要把真空泵油更換掉，將泵從系統上拆下，用干凈的方盤(pán)接在放油孔下。旋油塞和放油塞，放出污油。斷續啟動(dòng)電機，使各真空小室內的油全部排出。然后從各抽氣管加入干凈的真空泵油200~300CC 。斷續啟動(dòng)電動(dòng)機，再次清洗各真空室。這樣經(jīng) 2~3次重復清洗，放光清洗用油，旋上放油塞。從注油塞處加入干凈的真空泵油到視窗口的中心位置，旋緊注油塞不使漏氣。