廣州潽拓光電科技有限公司——愛(ài)德華渦輪泵
Edwards STP 磁懸浮渦輪分子泵系列因其質(zhì)量和可靠性在市場(chǎng)上享有很高的聲譽(yù),并且是許多具有挑戰性的半導體應用的優(yōu)選分子泵。對于實(shí)驗室應用,STP 磁懸浮渦輪分子泵極為可靠,并且超長(cháng)時(shí)間運行而無(wú)需維護。
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Edwards STPA1603C英國愛(ài)德華磁懸浮分子泵維修
小巧而強大的Edwards STPA1603C渦輪分子泵采用Edwards先進(jìn)的轉子技術(shù)進(jìn)行設計。它提供極高的吞吐量、*高的可靠性和yi流的性能,滿(mǎn)足zui新一代半導體制程的需要。其半機架的控制器和緊湊型設計可節省可觀(guān)的空間,而其先進(jìn)的沉積減少系統提高了可靠性和性能。STPA1603C已經(jīng)在zui新的200mm刻蝕工具上得到了證明,也能夠滿(mǎn)足新一代300mm氧化物腐蝕制程的需要。
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立式渦輪分子泵的優(yōu)點(diǎn)是:真空系統的結構簡(jiǎn)單,在改裝舊有擴散泵系統時(shí)可直接替代擴散泵而無(wú)須改動(dòng)真空系統結構;其次是泵內只有一組渦輪葉片,因而價(jià)格較低廉。
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nEXT300D 是一種是混合軸承復合分子泵。它隨附 ISO100 或 CF100 入口法蘭,具備 300ls-1 的 N2 抽速。