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廣州潽拓光電科技有限公司——普發(fā)分子泵控制器

真空泵維修保養的技巧：

　　1、在真空泵的使用過(guò)程中，如果發(fā)現真空泵產(chǎn)生異常的響聲，這個(gè)時(shí)候一定要按照步驟暫停真空泵，對其進(jìn)行檢查原因。

　　2、定期檢查真空泵的軸套，如發(fā)現軸套磨損非常嚴重，要對其進(jìn)行更換。

　　3、定期檢查真空泵各接線(xiàn)處和結合處是否出現松弛現象，及時(shí)處理出現松動(dòng)的位置。

　　4、在使用真空泵的時(shí)候，要控制真空泵的速度，保證真空泵的流量在使用范圍之內，這樣既能保證真空泵高xiao運行，并且

可以延長(cháng)真空泵的使用壽命。

　　5、真空泵的軸承也是有耐溫范圍，在使用過(guò)程中，軸承的溫度不得超過(guò)80度。

　　6、真空泵要定期檢查油量及油的品質(zhì)，油量不足要及時(shí)添加，如果真空泵油的品質(zhì)出現了問(wèn)題，要及時(shí)更換新的真空泵油。

普發(fā)PFEIFFER MVP 020-3 DC 隔膜泵

1. MVP 020-3隔膜泵具有220V 24V電壓可選

2.具有Z高 1.4 m3/h 抽吸能力的功能強大隔膜泵

3.用于電源電壓：100-120 V， 50 Hz 以及 200-230 V, 60 Hz

4.適用于在其中需要干燥、無(wú)油真空的應用

抽不到真空泵的極限真空度：首先檢查真空系統的氣密性，看是否有輕微漏氣。其次應打開(kāi)氣鎮，讓泵運行30分鐘左右,來(lái)抽干非泵油污染引起的可壓縮蒸汽，排除可壓縮蒸汽對極限真空度的影響。

解決方法：

更換旋片和彈簧，并清洗轉子和泵腔；檢查排氣閥門(mén)，觀(guān)看其動(dòng)作是否失靈，導致排氣不暢，必要時(shí)應更換排氣閥門(mén)。

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視頻作者：廣州潽拓光電科技有限公司

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單級雙吸泵真空泵和普通的水泵作用一樣，其特點(diǎn)是把旋轉水環(huán)當做活塞來(lái)改變泵腔的容積，以達到吸氣、壓縮和排氣的目的。它的零部件包括轉子葉輪、泵殼、端板、閥片、軸承、進(jìn)排氣口、進(jìn)口單向閥、軸端密封等。通常情況下，軸端是密封的，是利用帶水封環(huán)的填料進(jìn)行密封處理的，其中密封水是通過(guò)端板上的孔道導入導水封環(huán)位置的。哪里有修真空泵的

PFEIFFER TMH071 P渦輪分子泵大量用于PFEIFFER、Agilent（VARIAN）、 Ulvac、INFICON、VST、ABI、SHIMADZU等分析設備及氦檢儀中分析儀器如氦質(zhì)譜檢漏儀，及小型分子泵組中。德國普發(fā)PFEIFFER TMH071 P分子泵進(jìn)氣法蘭口DN63 ISO-KF/DN63 CF-F，出氣法蘭口DN16ISO-KF，抽速可達到60L/s, 轉速為90000rpm,極限真空＜1*10E8mBAR; 對應的控制器為PFEIFFER TC600.

當今，現代化的半導體行業(yè)中，越來(lái)越多地應用渦輪分子泵。如濺射、刻蝕、蒸發(fā)、注入、分子束外延、離子加工等設備都需要在真空環(huán)境下運行。又如電子顯微鏡，表面分析儀器，殘余氣體分析儀及氦質(zhì)譜檢漏儀等也經(jīng)常使用渦輪分子泵來(lái)抽真空。此外，在宇宙模擬設備、核聚變裝置、太陽(yáng)能集熱管鍍膜生產(chǎn)線(xiàn)上也都改用大型渦輪分子泵或低溫泵來(lái)代替油擴散泵系統，以防止油蒸汽的污染。因此，z近十幾年來(lái)，渦輪分子泵，在國內、外都得到了顯著(zhù)的改進(jìn)和發(fā)展。在渦輪分子泵的應用日益增加干式的前級泵還沒(méi)有大量普及和應用的情況下，有時(shí)還不得不用油封機械泵來(lái)作渦輪分子泵的前級泵。因此，針對這種現狀，對渦輪分子泵的合理選用和正確操作是很重要的。

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廣州潽拓光電科技有限公司——普發(fā)分子泵控制器油旋片真空泵

通常來(lái)說(shuō)，一臺分子泵控制器的顯示屏閃爍可能是由于電源線(xiàn)路有問(wèn)題，或者是由于組件出現故障造成的。建議在使用之前，先檢查電源線(xiàn)路是否有問(wèn)題，如果有問(wèn)題及時(shí)進(jìn)行維護；如果是組件出現故障，則需要檢查組件的電氣參數，根據維修應用指導手冊進(jìn)行更換或調整。

泵的排氣口出現了冒煙的現象。一般來(lái)說(shuō)，入口壓力低于1300Pa，如果長(cháng)期在高于此壓力的狀態(tài)下運轉，大量氣流會(huì )將油帶到真空泵過(guò)濾器上，導致過(guò)濾器超載冒煙的情況，因此，應選擇適當容量的真空泵，減少入口壓力，防止煙霧。另外，過(guò)濾器使用時(shí)間過(guò)長(cháng)，過(guò)濾能力減弱，冒煙也是更換過(guò)濾器的信號。

隨著(zhù)復合分子泵的不斷改進(jìn)，其應用領(lǐng)域越來(lái)越廣，在某些抽氣系統上可以替代擴散泵，縮短了系統的抽氣時(shí)間，并可獲得無(wú)油污染的清潔真空環(huán)境。

盡量避免低溫啟動(dòng)

油旋片真空泵一般要求環(huán)境溫度在 5 攝氏度以上，溫度過(guò)低時(shí)，潤滑油的粘度下降甚至會(huì )結沙，此時(shí)通電啟動(dòng)會(huì )造成電機燒壞、聯(lián)軸器損壞甚至轉子扭斷等嚴重的故障。

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