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在正常工作時(shí)，可把水溫調節到略高于來(lái)消除泵體外部可能形成的冷凝物。

啟動(dòng)系統要先接通冷卻水流，打開(kāi)前級管道閥門(mén)，再同時(shí)啟動(dòng)機械泵和渦輪分子泵。在泵加速到額定轉速（一般為5到10min）后，就可加注液氮冷阱。此后就可按上節所介紹的步驟對真空室進(jìn)行抽氣。所給出的不用高真空閥門(mén)的抽氣系統的操作，要比有閥門(mén)的抽氣系統簡(jiǎn)便得多。操作時(shí)，先打開(kāi)冷卻水和前級管道閥，并同時(shí)啟動(dòng)機械泵和渦輪分子泵。如粗抽泵選擇得當，使真空室的粗抽時(shí)間等于加速時(shí)間，那么真空系統就能在沒(méi)有泵油蒸氣返流的情況下把真空室抽到其本底壓力。

1-檢漏接口閥；2-渦輪分子泵；3-放氣閥；4-電離規；5-熱傳導規；6-真空管路閥；7-電磁放氣閥；8-機械泵。圖2 不用閥門(mén)的渦輪分子泵抽氣系統無(wú)閥門(mén)系統在放氣和停機時(shí)，首先關(guān)閉前級管道閥，等泵轉速下降到很大轉速的50%時(shí)再在泵的上方充入干燥氣體。當系統充到大氣壓時(shí)應關(guān)閉放氣閥門(mén)，否則會(huì )造成真空室過(guò)壓。然后按上述介紹的方法關(guān)掉機械泵并停掉冷卻水。

沒(méi)有單設粗抽管路的渦輪分子泵系統的操作：先打開(kāi)分子泵冷卻系統和前級管路閥，并同時(shí)啟動(dòng)前級（粗抽）機械泵和渦輪分子泵。如果粗抽泵（前級泵）選擇得當，使真空室的粗抽時(shí)間等于分子泵的加速（啟動(dòng)）時(shí)間，則真空系統就能在沒(méi)有泵油蒸汽返流的情況下把真空室抽到其本底壓力。

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視頻作者：廣州潽拓光電科技有限公司

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分子泵是氦質(zhì)譜檢漏儀中獲得高真空重要部,是氦質(zhì)譜檢漏儀中不可或缺關(guān)鍵部件,分子泵性能直接影響檢漏儀性能參數的好壞,分子泵的發(fā)展直接影響著(zhù)氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)。本文重點(diǎn)討論分子泵轉速對氦質(zhì)譜檢漏的影響。2、逆擴散型檢漏儀逆擴散型的檢漏儀的檢漏口是連接到高真空泵與低真空泵之間,所以被檢試件的可檢漏壓力就是高真泵的前級耐壓。如果試件壓力超過(guò)這個(gè)壓力,將使高真空泵不能正常工作。普通渦輪分子泵的前級耐壓,一般不超過(guò)50Pa,遠達不到高壓檢漏的要求。

1980年國際上出現一種稱(chēng)之為“復合型”的分子泵,現今,其前級耐壓很高已達2000Pa。這種泵用作氦質(zhì)譜檢漏儀的高真空泵,可直接實(shí)現在高的試件壓力下的檢漏。用復合分子泵構成的一種可實(shí)現高壓強下的檢漏儀,其工作過(guò)程如下。當被檢試件抽至1500Pa,V1開(kāi)，氨氣逆擴散穿越整個(gè)分子泵進(jìn)入質(zhì)譜室，實(shí)現儀器的逆擴散檢漏。

若能進(jìn)一步將試件抽至200Pa以下，則V2關(guān)閉，V3打開(kāi)，從泵的中間口逆擴散至質(zhì)譜室，若能進(jìn)一步將試件抽至40Pa以下，則V3關(guān)閉，V4打開(kāi)，氦氣從泵的上部逆擴散進(jìn)入質(zhì)譜室，或直接進(jìn)入質(zhì)譜室(常規檢漏）。這種從高壓檢大漏到實(shí)現檢微漏的全自動(dòng)過(guò)程，一氣呵成，不僅，也便于漏率的定量，由于每個(gè)狀態(tài)下的閥門(mén)流導和泵的壓縮比等參數都是固定不變的，儀器只需1次校準即可。

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當時(shí)現行標準的分子泵不能直接用到圓排機上，因為圓排機的工況，工作過(guò)程中燈管不可避免地會(huì )產(chǎn)生漏氣和破損而產(chǎn)生的壓力高、大氣流的沖擊和碎屑等的情況。鑒于此，由公司專(zhuān)項研制高壓強分子泵，由上海涌真機械有限公司實(shí)施圓排車(chē)制造替換譜拓泵，把公司研制的分子泵應用在上海正貝照明制造的圓排車(chē)上，進(jìn)行的替代設計制造。

此后，公司成功研制出FF-160/500G分子泵，其技術(shù)參數詳見(jiàn)表1。表1 FF-160/500G復合分子泵技術(shù)參數替換方案此前圓排機上的兩套分別為：一臺ZJP150譜拓泵和TRP-16一臺真空泵和凱尼ZJ150譜拓泵和愛(ài)發(fā)科VD401真空泵的譜拓真空組。左：普通分子泵；右：高壓強分子泵替換方案為：一套由一臺KYKY公司的FF160/500G分子泵，前級為北儀優(yōu)成的TRP-60或TRP-48真空泵，過(guò)渡真空室、接管、真空測量系統組成的機組（簡(jiǎn)稱(chēng)分子泵機組）。

現一臺分子泵機組拖7工位，可增至10個(gè)工位。原兩臺拖7工位。表2 工作監控情況及對比數據表實(shí)際效果對比分析分子泵機組比抽氣速率大，真空度高近一個(gè)數量級。而且相較而言，分子泵機組的噪音更小，占地面積更小。在運轉費用方面，按一年280天計算，每天24h，全年就是6720h。單位：元

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