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分子泵是高速旋轉的機械，軸承故障可能會(huì )造成泵葉片打碎直接報廢；而當軸承工作狀態(tài)不良時(shí)，會(huì )有一系列的現象，如分子泵無(wú)法啟動(dòng)，運行噪音增大，溫度或功率異常增加等，在排除外界環(huán)境和進(jìn)排氣壓力過(guò)高等外界因素后，應盡快停泵，送到維修中心進(jìn)行檢修。

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視頻作者：廣州潽拓光電科技有限公司

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真空度很好的情況下，分子泵油為何會(huì )返到前級管道？

　　原因：油池或密封不良

　　解決方法：檢查油池

分子泵軸承為什么會(huì )燒毀

　　原因：①缺乏定期維護②冷卻不良導致過(guò)熱③沒(méi)有及時(shí)換油④抽除的氣體中含有大量粉塵

　　解決方法：①及時(shí)維護②檢查冷卻系③及時(shí)換油④隔離粉塵

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分子泵的轉速可達到10000r/min~50000r/min，如果直接抽大氣，氣流會(huì )對分子泵造成不可逆的損傷甚至報廢。 分子泵無(wú)法直接將氣體壓縮到常壓，即無(wú)法直接對大氣排氣?；诜肿颖玫墓ぷ髟?，在開(kāi)啟分子泵前必須配置一臺輔助前級泵。

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 安裝常見(jiàn)問(wèn)題：

①、安裝前要查驗分子泵運送中是不是被毀壞。

②、開(kāi)啟泵高真空泵端法蘭蓋板，戴好膠手套，轉動(dòng)渦輪增壓電機轉子，應旋轉靈便，無(wú)異常情況。

③、安裝自然環(huán)境應合乎技術(shù)標準和真空泵衛生要求。

④、確定安全防護網(wǎng)已安裝，特殊情況下訂制安全防護網(wǎng)。

⑤、確定已裝進(jìn)潤滑脂。

⑥、安裝方位：油繩潤化：垂直、水準