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真空計的校準
如今，真空在我們日常生活中被廣泛應用于產(chǎn)品的生產(chǎn)及制造，并且扮演著(zhù)重要角色。例如：在科研，工業(yè)流程，手機芯片，硬盤(pán)，太陽(yáng)能電池，塑料干燥或者食品真空包裝等領(lǐng)域。在當今的生產(chǎn)活動(dòng)中，我們對真空度測量的性、標準化、可靠性和重復性的要求是至關(guān)重要的。當我們在進(jìn)行測量的時(shí)候，高精度又是關(guān)鍵中的關(guān)鍵：
精度的高低會(huì )直接影響產(chǎn)品的生產(chǎn)質(zhì)量，科學(xué)實(shí)驗的準確性和設備使用的可靠性。要確保真空計使用時(shí)的高可靠性，就必須經(jīng)常對它進(jìn)行校準或標定。而根據每個(gè)不同應用的具體要求，這些校準工作必須符合國內或相關(guān)的。經(jīng)濟、有效果的國際化的機構校準及標定替代解決方案；生產(chǎn)活動(dòng)中，真空計往往需要對外機構進(jìn)行校準和標定。
然而在對量大或校準間隔要求短的條件下，使用經(jīng)濟的測量?jì)x器進(jìn)行現場(chǎng)校準能大大節約時(shí)間和費用。inficon真空緊湊型的校準泵組就能夠組建起這樣一個(gè)系統。譜拓（）認為這個(gè)易于使用的便攜式系統是專(zhuān)為同時(shí)在線(xiàn)進(jìn)行多個(gè)儀器檢測而量身定做的。其系統具有使用便捷、快速及符合人體工學(xué)標準的特點(diǎn)。
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熱傳導真空計為什么易老化？
答：因熱絲長(cháng)期工作在高溫下，受氣體作用易氧化變細，或導致熱絲本身結晶構造變化，因此會(huì )改變熱絲的電阻，造成零點(diǎn)的漂移，這是屬于熱絲本體的。熱絲表面因會(huì )吸附氣體而改變了表面的適應系數，即熱交換的機制，造成靈敏度的變化。以上均屬于老化現象。
電離真空計的工作原理？答：利用電子對氣體的碰撞產(chǎn)生電離作用，而電離的效果是與氣體壓力有關(guān)的。當電子電流一定時(shí)，電離形成的離子流正比于壓力，故通過(guò)離子流間接測量氣體的壓力。
什么是電離真空計的外控接法？有何好處？答：如規管的柵極作為電子加速極，而板極作為離子收集極，此種接法即為外控接法。其好處是電子在加速中不易被柵絲截獲，并受燈絲和板極的電位排斥，可以在燈絲與板極的空間，反復穿過(guò)柵極來(lái)回振蕩，如此，可顯著(zhù)提高測量的靈敏度。
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當壓力降至102Pa時(shí)，熱偶電勢E開(kāi)始增大，這是由于此時(shí)氣體傳導走的熱量減少，熱絲溫度已升高。當壓力p繼續降低時(shí)，熱偶電勢繼續增大，但是越來(lái)越緩慢， 很后趨于一定值。此后，p再降低，E不再變化，即熱偶真空計已達到其測量極限，這個(gè)極限為其測量下限，約為10-1Pa。為了使用上的方便，通常按照p—E校準曲線(xiàn)將毫伏計的刻度改成真空度。用這樣刻度的真空計測量時(shí)，可直接讀出真空度，再也不需要根據測得的p-E校準曲線(xiàn)查被測真空度。
氣體種類(lèi)對熱偶真空計的影響熱偶真空計對不同氣體的測量結果是不同的，這是由于不同氣體分子的導熱系數不同引起的。但各種氣體的p-E校準曲線(xiàn)形狀都類(lèi)同，因此，在測量不同氣體的壓力時(shí)，可根據干燥空氣(或氮氣)刻度的壓力讀數，再乘以相應的被測氣體相對靈敏度，就可得到該氣體的實(shí)際壓力，即通常以干燥空氣(或氮氣)的相對靈敏度為1，其他一些常用的氣體和蒸氣的相對靈敏度如表4-2所示。相對靈敏度表明了氣體熱傳導的性質(zhì)。
對于氣體分子中具有相同原子數的氣體或蒸氣，其相對靈敏度Sr隨分子量的增大而增大。表4-2一些氣體與蒸氣的相對靈敏度四、熱偶規管加熱電流的確定由于制造熱偶規管所用的材料及工藝等原因，每個(gè)規管的加熱電流均不相同；在使用過(guò)程中也會(huì )因規管“老化”使得加熱電流變大；此外，不同測量范圍的加熱電流也有差異。因此，在使用熱偶計時(shí)，應按不同的量程確定規管的加熱電流。
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