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廣州潽拓光電科技有限公司——安捷倫真空泵

TwisTorr 404 FS 渦輪分子泵特性可對輕質(zhì)氣體實(shí)現高壓縮比，同時(shí)支持高氣體流速，從而能夠通過(guò) DN100 法蘭以 400 L/s 的抽速在極低的極限壓力下運行，同時(shí)可用于高通量應用無(wú)烴運行，可確保真空系統潔凈遠程控制器可在距離 100 m 處進(jìn)行操作。低振動(dòng)和低噪音 (43 dB(A))，打造舒適的工作環(huán)境并且可以在敏感的實(shí)驗環(huán)境下運行體積小巧，可安裝在任何位置，有利于輕松集成免維護軸承，零運行成本通過(guò) Vacuum Link 應用程序實(shí)現無(wú)線(xiàn)控制，以便隨時(shí)隨地進(jìn)行泵的操作防輻射和防磁場(chǎng)設計，無(wú)嵌入式電子設備，可在強磁場(chǎng)和輻射環(huán)境下運行低電磁輻射，確保不會(huì )干擾工藝過(guò)程泵控制軟件使靈活性、速度和簡(jiǎn)便性達到化，可在泵的操作條件下始終保持氣體流量和壓縮比

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性能指標H2 壓縮比3 x 106冷卻方法Air coolingWater cooling前級管道法蘭尺寸KF 25 NW前級耐壓 — N210 mbar啟動(dòng)時(shí)間< 5 min噪音水平43 dB(A)工作位置Any建議采用的前級泵容量10 m3/h抽速 — Ar340 L/s抽速 — H2415 L/s抽速 — He505 L/s抽速 — N2380 L/s氣體通量 — Ar、水冷3.3 mbar L/s；195 sccm氣體通量 — N2、水冷6.2 mbar L/s；367 sccm極限真空<1 x 10–10 mbar標準和認證61326-1

61010-1

DIR 2006/42/CE

DIR 2014/35/EU

DIR 2014/30/EU

DIR 2011/65/EU法蘭類(lèi)型DN 100貯存環(huán)境溫度-40 至 +70 °C運行環(huán)境溫度+5 to +35 °C重量22.6 kg額定轉速從 40.8 至 49.5 KRPM

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視頻作者：廣州潽拓光電科技有限公司

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注意監測前級真空分子泵是一種高真空泵，它必須配合合適的并且性能良好的前級泵才可以正常工作；除了在選型時(shí)盡量選擇推薦的前級泵之外，分子泵使用時(shí)也要注意監測其排氣口的壓力，避免因前級泵性能下降而使分子泵排氣壓力過(guò)高，造成負荷過(guò)大，泵溫過(guò)高等。這些情況一定要加軸承吹掃分子泵所抽的氣體如果含有較多的可凝性氣體（如水汽，等），高濃度的氧氣、腐蝕性氣體，或者粉塵等，需要增配吹掃閥（Purge Valve），工作過(guò)程中利用吹掃氣（一般為干燥氮氣）持續對軸承進(jìn)行吹掃，以達到隔離污染物，保護軸承的目的。

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當磁場(chǎng)逐步增加后，被測分子泵轉子的平衡溫度也隨之上升，當磁場(chǎng)強度為 7mT 時(shí)，平衡溫度上升到 100 攝氏度左右（安捷倫分子泵的大允許溫度為 120 度）。

另外，KIT 使用該測試平臺測試了另一臺其它品牌的分子泵，一系列的對比測試表明，安捷倫分子泵在相同的磁場(chǎng)條件下轉子的平衡溫度明顯較低（ 5mT 時(shí)，低大約40度）。

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安捷倫分子泵采用了新的懸浮技術(shù)AFS，懸浮轉子，能夠有限改善震動(dòng)。AFS提供了超高精度，確保了軸承對準。同時(shí)徑向靜止設計，極大優(yōu)化轉子運動(dòng)形態(tài)和降低噪音。安捷倫提供從TV84FS，TV304FS，TV551，TV701，TV1001，TV2300，TV3KG等不同抽速大小的分子泵，以滿(mǎn)足客戶(hù)不同的應用需求。

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安捷倫分子泵采用新的3級TwissTorr 拖動(dòng)級技術(shù)，通過(guò)分子泵旋轉盤(pán)面，提高氣體分子動(dòng)能，從而有效提高抽速和極高的壓縮比。新的拖動(dòng)級技術(shù)與上一代設計相比，功耗降低了20%。安捷倫Triscroll 和變頻Triscroll 渦旋式干泵為雙級渦旋式干泵，是目前市場(chǎng)上極限真空度好的干泵