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分子泵入口應裝設防護網(wǎng)，以避免異物進(jìn)入泵內損壞泵轉子和定子葉片。抽氣系統裝有單獨粗抽管路的渦輪分子泵抽氣系統的操作方法與擴散泵抽氣系統相似。在開(kāi)始粗抽以前，高真空閥和粗抽閥是關(guān)著(zhù)的，而前級管道閥是打開(kāi)的。首先關(guān)閉前級閥，啟動(dòng)粗抽泵（兼前級泵），打開(kāi)粗抽閥開(kāi)始對真空室進(jìn)行抽氣。在真空室內的壓力降到150~100Pa時(shí)關(guān)閉粗抽閥，打開(kāi)前級管道閥，再啟動(dòng)渦輪分子泵（需先接通冷卻系統）。

如果分子泵入口處裝有液氮冷阱，則應在泵加速到額定轉速后（一般需5~10min）加注液氮。1-渦輪分子泵；2-液氮冷阱；3-放氣閥；4-電離規；5-熱傳導規；6-粗抽閥；7-機械泵；8-前級管路閥；9-高真空閥。圖1 典型渦輪分子泵抽氣系統粗抽系統的配置隨真空室的容積大小而有所不同。對500L/s或更小的渦輪分子泵來(lái)說(shuō)，可采用一臺雙級旋片泵；1000L/s以上的渦輪分子泵則采用以機械泵為前級泵的羅茨泵機組。

在壓力為100到150Pa時(shí)關(guān)閉粗抽閥，把真空室切換到渦輪分子泵上。對某些泵，這樣做會(huì )引起輕微而滯后的瞬時(shí)減速，但這對抽氣并無(wú)影響。正如擴散泵抽氣系統那樣，渦輪分子泵系統中的很主要的物質(zhì)是水蒸氣，其臭氣時(shí)間將受液氮冷阱抽速的支配。如果不用液氮冷阱，那么這個(gè)系統抽除水蒸氣的速度就會(huì )比同樣抽速的無(wú)冷阱擴散泵略慢一些。

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視頻作者：廣州潽拓光電科技有限公司

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在正常工作時(shí)，可把水溫調節到略高于來(lái)消除泵體外部可能形成的冷凝物。

啟動(dòng)系統要先接通冷卻水流，打開(kāi)前級管道閥門(mén)，再同時(shí)啟動(dòng)機械泵和渦輪分子泵。在泵加速到額定轉速（一般為5到10min）后，就可加注液氮冷阱。此后就可按上節所介紹的步驟對真空室進(jìn)行抽氣。所給出的不用高真空閥門(mén)的抽氣系統的操作，要比有閥門(mén)的抽氣系統簡(jiǎn)便得多。操作時(shí)，先打開(kāi)冷卻水和前級管道閥，并同時(shí)啟動(dòng)機械泵和渦輪分子泵。如粗抽泵選擇得當，使真空室的粗抽時(shí)間等于加速時(shí)間，那么真空系統就能在沒(méi)有泵油蒸氣返流的情況下把真空室抽到其本底壓力。

1-檢漏接口閥；2-渦輪分子泵；3-放氣閥；4-電離規；5-熱傳導規；6-真空管路閥；7-電磁放氣閥；8-機械泵。圖2 不用閥門(mén)的渦輪分子泵抽氣系統無(wú)閥門(mén)系統在放氣和停機時(shí)，首先關(guān)閉前級管道閥，等泵轉速下降到很大轉速的50%時(shí)再在泵的上方充入干燥氣體。當系統充到大氣壓時(shí)應關(guān)閉放氣閥門(mén)，否則會(huì )造成真空室過(guò)壓。然后按上述介紹的方法關(guān)掉機械泵并停掉冷卻水。

沒(méi)有單設粗抽管路的渦輪分子泵系統的操作：先打開(kāi)分子泵冷卻系統和前級管路閥，并同時(shí)啟動(dòng)前級（粗抽）機械泵和渦輪分子泵。如果粗抽泵（前級泵）選擇得當，使真空室的粗抽時(shí)間等于分子泵的加速（啟動(dòng)）時(shí)間，則真空系統就能在沒(méi)有泵油蒸汽返流的情況下把真空室抽到其本底壓力。

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隨著(zhù)各應用領(lǐng)域技術(shù)要求的不斷提高，在渦輪分子泵系列方面持續開(kāi)發(fā)，擁有抽速介于10到超過(guò)3000升/秒的完整渦輪分子泵產(chǎn)品系列，具有很高的和靈活的安裝方式，從而使得各類(lèi)應用，比如分析儀器、半導體、光學(xué)/玻璃、冶金、泄漏檢測、科研設施、燈具等行業(yè)，都能找到與之匹配的訂制產(chǎn)品型號。

尤其是此次推出的渦輪分子泵，使用了技術(shù)，特別適用于對振動(dòng)敏感的應用。該技術(shù)能更有效地測試渦輪分子泵轉子的平衡性能，確保了在這一領(lǐng)域的技術(shù)優(yōu)勢，并且為該公司的下一步發(fā)展提供了技術(shù)前瞻。所有的生物分子泵都是自催化系統，通過(guò)利用其催化分解化學(xué)燃料所釋放的能量來(lái)維持細胞的生命活動(dòng)。迄今為止已經(jīng)報道了一些人工分子泵，但它們都是以光為驅動(dòng)力燃料，或需要連續添加試劑或改變電勢來(lái)維持運行。

在此，作者報道了一種催化驅動(dòng)的人工分子泵，在“燃料”的存在下，能連續地將冠醚大環(huán)化合物從溶液中“串”到分子軸上，且不需要進(jìn)一步的干預。只要有未反應完的“燃料”的存在，該過(guò)程就能一直進(jìn)行。燃料全部消耗完后，冠醚會(huì )從不平衡的[4]輪烷上脫落，體系轉變成很低能量的起始離散狀態(tài)。該工作利用催化作用來(lái)驅動(dòng)人工分子泵，在催化和分子機械層面開(kāi)辟了新的研究方向。

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