廣州潽拓光電科技有限公司——安捷倫真空分子泵
美國安捷倫Agilent TV81M就是意大利瓦里安Varian Turbo-V 81-M分子泵,又稱(chēng)為Varian TV81-M分子泵,其與瓦里安的同門(mén)兄弟Varian Turbo-V 81-T,都是varian TV81系列,轉速都是80000,DN63口徑時(shí),抽速都是77L/s,啟動(dòng)時(shí)間都是60秒,分子泵電源可以相互通用
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高真空泵可將腔室或系統抽空到高機械泵(10-3至10-8托)或極高機械泵(<10-8托)的壓力范圍內。機械泵和文丘里管發(fā)生器在中等偏上至粗機械泵范圍內運行
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