廣州潽拓光電科技有限公司——安捷倫進(jìn)口分子泵
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安捷倫渦旋式干泵采用兩個(gè)渦旋盤(pán)復合成的機械結構,由一個(gè)渦旋嵌入另一個(gè)渦旋并轉動(dòng)來(lái)捕集氣體。進(jìn)入渦旋槽內的氣體被移動(dòng)壓縮到渦旋的中信并被排出。
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美國Agilent TwisTorr 304 FS高真空渦輪分子泵
高真空渦輪分子泵內有一個(gè)高速旋轉(每分鐘幾萬(wàn)轉)的轉子,轉子上有渦輪和拖動(dòng)級進(jìn)行抽氣。隨著(zhù)技術(shù)的不斷進(jìn)步,市場(chǎng)不僅對泵性能的要求越來(lái)越高,更對其小型化、高可靠性、維護方便性及靈活易用性等都提出了更高的要求通常的分子泵拖動(dòng)級采用圓柱螺旋形的溝槽,而安捷倫 TwisTorr 技術(shù)把拖動(dòng)級放在了薄薄的圓盤(pán)上,這樣就可以在有限的空間內集成多對拖動(dòng)級轉子盤(pán)和定子盤(pán),節省空間的同時(shí)又能提率和性能。
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復合式分子泵的形式很多,按結構分,主要有兩種:一種是渦輪葉片與盤(pán)式牽引泵的串聯(lián)組合;另一種是渦輪葉片與筒式牽引泵的串聯(lián)組合。渦輪級主要用來(lái)提高泵的抽速,一般采用有利于提高抽速的葉片形狀,級數在l0級以?xún)?。牽引級主要用?lái)增加泵的壓縮比,提高泵的出口壓力。