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廣州潽拓光電科技有限公司——進(jìn)口普發(fā)分子泵TPH270維護分子泵真空機組

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高真空機組

①選好主泵，主泵有擴散泵、分子泵、濺射離子泵、鈦泵、低溫泵等。

②選好預抽泵、儲氣管(防震、縮短工作周期、防止真空室內瞬間大量放氣、穩定擴散泵出口壓力)

超高真空機組

主泵極限真空度要高、漏氣率要低、耐200~450℃烘烤。

①擴散泵機組：降低返流、控制污染;

②分子泵機組：對氫壓縮比小，殘余氣體主要是氫;

③濺射離子泵機組：通常與鈦泵聯(lián)合使用;

④低溫泵機組：無(wú)污染。

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真空通常由抽氣機獲得，其氣體稀薄度用真空計測量。利用分子和擴散式氣體抽提器可以獲得大氣壓為1×10-14pa的高真空度。真空技術(shù)廣泛應用于芯片制造、太陽(yáng)能電池制造、光學(xué)薄膜制造、電真空儀器、電子管等電子儀器中。

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干式螺旋真空泵是一種較新的阿特拉斯真空泵系列下的設備，具有可靠性高、壽命長(cháng)、動(dòng)平衡性能好、適應性強、多相混輸等特點(diǎn)。它能去除腐蝕性、有毒、含塵氣體和可冷凝蒸汽等氣體。干泵有著(zhù)廣泛的應用，包括半導體工業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜工業(yè)等，這三個(gè)行業(yè)的需求是推動(dòng)干式泵市場(chǎng)的主要動(dòng)力。在歐美半導體行業(yè)，約有一半的企業(yè)采用干式真空泵代替油封式機械泵。我國半導體行業(yè)主要采用進(jìn)口干式泵。因此，應加強國產(chǎn)干式真空泵的研發(fā)，使之成為我國真空行業(yè)新的經(jīng)濟增長(cháng)點(diǎn)。

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在確定了工藝要求的真空度的基礎上檢查真空泵系統的極限真空度，因為系統的極限真空度決定了系統的zui佳工作真空度。一般來(lái)講，系統的極限真空度比系統的工作真空度低20%，比前級泵的極限真空度低50%。

Pfeiffer TMU 521 P技術(shù)：

甲渦輪泵是燃氣渦輪機，其由兩個(gè)獨立的組件組成; 旋轉泵和驅動(dòng)渦輪。它們可以安裝在同一根軸上，或者通常一起安裝。渦輪泵的設計是產(chǎn)生高壓流體以供燃燒室或其他用途使用。

甲渦輪分子泵類(lèi)似于其被用于獲得和保持在高真空渦輪泵真空泵的形式。這些泵的工作原理是，通過(guò)與行進(jìn)的固體表面反復碰撞，氣體顆?？梢栽谒璧姆较蛏媳毁x予動(dòng)量。在渦輪分子泵中，快速旋轉的渦輪轉子從泵的進(jìn)氣口向排氣口“吹掃”氣體顆粒，以形成或保持真空。 高真空分子泵維修多少錢(qián)

直聯(lián)旋片泵

隨著(zhù)真空技術(shù)在各個(gè)應用領(lǐng)域的不斷擴大，直聯(lián)旋片泵的需求量越來(lái)越大。由于這種泵數量很多，加工裝配工作量很大，價(jià)格又很低，所以有的國外真空廠(chǎng)商在中國建立zhuan業(yè)廠(chǎng)。國產(chǎn)中小型直聯(lián)旋片泵在技術(shù)上已經(jīng)過(guò)關(guān)，價(jià)格又遠比國外的泵便宜，所以國產(chǎn)泵仍然有競爭優(yōu)勢，關(guān)鍵是要解決軸封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能質(zhì)量問(wèn)題，確保直聯(lián)泵在高速、高溫下性能穩定和運行可靠，同時(shí)還要進(jìn)一步提高國產(chǎn)直聯(lián)旋片泵抽除水蒸氣的能力。

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