廣州潽拓光電科技有限公司——alcatel分子泵 高真空分子泵維修廠(chǎng)家
不同的真空系統要求的真空度不同。因此往往必須由一套真空機組來(lái)完成,即由工作在不同壓力范圍的真空泵串接起來(lái)。高真空一側的真空泵能達到系統要求的真空度,而低真空一側的真空泵是直排大氣的。顯然*簡(jiǎn)單的真空機組就是一臺直排大氣的真空泵。但高真空系統一般需要三級機組,中真空一般需要二級機組。高真空分子泵維修廠(chǎng)家
真空是指氣體壓力小于大氣壓力的狀態(tài)。真空度用帕斯卡(Pa)或托(Torr)來(lái)表示。在某些應用中,需要制造非常低的真空。例如,在電子學(xué)中,需要多個(gè)級別的真空來(lái)生產(chǎn)半導體器件。真空主要通過(guò)真空泵來(lái)制造和維持。高真空分子泵維修廠(chǎng)家
一般真空泵設備的操作都比較簡(jiǎn)單,大多正常生產(chǎn)過(guò)程中都不需要過(guò)多的人為操作,操作人員如果發(fā)現真空泵有異常狀況,為防止發(fā)生事故,應立即切斷電源,及時(shí)報修。使用過(guò)程中,應避免日光直射,遠離熱源體。日常工作中應做到每日點(diǎn)檢保養設備,保持無(wú)灰塵、無(wú)雜物,防止雜物進(jìn)入泵內。高真空分子泵維修廠(chǎng)家
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廣州潽拓光電科技有限公司——alcatel分子泵 阿爾卡特進(jìn)口泵維修
羅茨真空泵是指具有一對同步高速旋轉的鞋底形轉子的機械真空泵,此泵不可以單獨抽氣,前級需配油封、水環(huán)等可直排大氣。阿爾卡特進(jìn)口泵維修
它的結構和工作原理與羅茨鼓風(fēng)機相似,工作時(shí)其吸氣口與被抽真空容器或真空系統主抽泵相接。這種真空泵的轉子與轉子之間、轉子與泵殼之間互不接觸,
采用機械方法周期性地改變泵內吸氣空腔的容積,使被抽容器內氣體的體積不斷膨脹,從而獲得真空的泵稱(chēng)旋轉機械真空泵。改變吸氣空腔的方式有水環(huán)式、滑閥式和旋片式等,這里先敘述旋片式機械真空泵。阿爾卡特進(jìn)口泵維修
轉動(dòng)泵又稱(chēng)為容積壓縮泵。它的原理是利用機械方法使一個(gè)工作室的體積周期性地擴大和縮小以達到抽氣目的。它是一種前級泵,一般在工作室容積*小時(shí)和抽氣管的入口接通,于是氣體就進(jìn)入工作室,直到工作室容積*大并重新與抽氣管隔斷的時(shí)候才停止; 以后工作室容積逐漸變小,氣體就被壓縮,直到壓強大于1大氣壓時(shí)排氣閥就打開(kāi)而驅出氣體。阿爾卡特進(jìn)口泵維修
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廣州潽拓光電科技有限公司——alcatel分子泵 adixen ATP150分子泵維修
在某些中真空應用中,需要進(jìn)入10-1Pa范圍,這對羅茨泵的二級機組往往難于實(shí)現,而使用二級羅茨泵串接的三級機組可使真空度提高一個(gè)數量級而進(jìn)入10-1Pa,所以中真空應用也常用三級機組。由于分子增壓泵在10-1Pa可以滿(mǎn)抽速,所以亦可以在三級中真空機組中取代兩級羅茨泵。一般地講,長(cháng)時(shí)間工作在中真空的低端壓力范圍的羅茨泵,adixen ATP150分子泵維修,分子增壓泵可以完全取代。而長(cháng)時(shí)間工作在中真空壓力范圍的羅茨泵相對而言應該較少,因為這一壓力范圍前級泵往往還具有強勁的抽素。adixen ATP150分子泵維修
在羅茨真空泵中吸入氣體被壓縮的過(guò)程不是連續的,而是突然的。吸入氣體隨轉子轉動(dòng)而被封閉于腔內,又隨轉子的旋轉,使腔內的氣體突然與排氣口接通。由于排氣一側的氣體壓力較高,排氣口處的氣體就向腔中返沖,然后又隨著(zhù)轉子的旋轉而被驅趕排出泵外。這樣的過(guò)程在每旋轉一周中兩個(gè)轉子共進(jìn)行四次排氣過(guò)程。adixen ATP150分子泵維修
對于較大型的高真空應用設備,adixen ATP150分子泵維修,也可適當加強前級泵的預抽能力,進(jìn)一步縮短抽氣時(shí)間,由于預抽時(shí)間與整個(gè)排氣過(guò)程相比很短,所以前級泵的使用時(shí)間也很短,因此可以兼作多套設備的預抽作用,而這往往是非?,F實(shí)的。這就使規?;瘧玫恼婵諜C組得到大大的簡(jiǎn)化。adixen ATP150分子泵維修
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