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廣州潽拓光電科技有限公司——普發(fā)真空泵分子泵真空機組

在真空中對金屬及其合金進(jìn)行真空冶金范圍很廣，包括真空蒸餾、礦石及其半產(chǎn)品的真空分離，金屬化合物真空還原、鋼液爐外真空脫氣和精煉、金屬真空熔鑄、真空燒結，真空熱處理、真空釬焊及真空固態(tài)接合等多種工藝方法。

Pfeiffer HiPace 80

集成的驅動(dòng)電子裝置，防護類(lèi)型 IP54 適合于工業(yè)用途

準 S2 和 UL/CSA 認證

運行數據監控形成的較高運行安全性

緊湊結構形成的較低空間要求

對于所有氣體的高抽吸能力和極高壓縮

用于在所有情況下的安裝

理想適用于可靠系統集成

廣泛的配件擴展使用范圍

具有較高 67 l/s 對于 N2 抽吸能力的小型、高xing能渦輪泵

集成驅動(dòng)電子裝置 TC 110

低真空機組的主要特點(diǎn)是工作壓力高，排氣量大，但抽速比高真空機組低。多用于真空室的粗抽以及放氣量很大，工作壓力較高的真空輸送、真空浸漬、真空過(guò)慮、真空脫氣、真空干燥等裝置中。低真空機組的主泵常用往復式真空泵、油封真空泵、水噴射泵、水蒸汽噴射泵、水環(huán)泵、油蒸汽噴射泵、分子篩吸附泵和羅茨泵等。使用低真空機組，還需要根據被抽氣體的清潔程度、濕度等工藝要求，配置除塵器、干燥過(guò)慮器等元件。

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真空通常由抽氣機獲得，其氣體稀薄度用真空計測量。利用分子和擴散式氣體抽提器可以獲得大氣壓為1×10-14pa的高真空度。真空技術(shù)廣泛應用于芯片制造、太陽(yáng)能電池制造、光學(xué)薄膜制造、電真空儀器、電子管等電子儀器中。

Pfeiffer普發(fā) HiPace 1500U渦輪分子泵維修，Pfeiffer  HiPace 1500U普發(fā)渦輪分子泵進(jìn)氣法蘭口DN250 ISO-F/DN250 ISO-K/DN250 CF-F，出氣法蘭口DN40 ISO-KF，抽速可達到1100L/s - 1450 L/s，轉速為37800rpm，極限壓力1X10-8 mbar，對應的控制器為：Pfeiffer TC1200等。

干式螺旋真空泵是一種較新的阿特拉斯真空泵系列下的設備，具有可靠性高、壽命長(cháng)、動(dòng)平衡性能好、適應性強、多相混輸等特點(diǎn)。它能去除腐蝕性、有毒、含塵氣體和可冷凝蒸汽等氣體。干泵有著(zhù)廣泛的應用，包括半導體工業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜工業(yè)等，這三個(gè)行業(yè)的需求是推動(dòng)干式泵市場(chǎng)的主要動(dòng)力。在歐美半導體行業(yè)，約有一半的企業(yè)采用干式真空泵代替油封式機械泵。我國半導體行業(yè)主要采用進(jìn)口干式泵。因此，應加強國產(chǎn)干式真空泵的研發(fā)，使之成為我國真空行業(yè)新的經(jīng)濟增長(cháng)點(diǎn)。

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單級雙吸泵真空泵和普通的水泵作用一樣，其特點(diǎn)是把旋轉水環(huán)當做活塞來(lái)改變泵腔的容積，以達到吸氣、壓縮和排氣的目的。它的零部件包括轉子葉輪、泵殼、端板、閥片、軸承、進(jìn)排氣口、進(jìn)口單向閥、軸端密封等。通常情況下，軸端是密封的，是利用帶水封環(huán)的填料進(jìn)行密封處理的，其中密封水是通過(guò)端板上的孔道導入導水封環(huán)位置的。哪里有修真空泵的

PFEIFFER TMH071 P渦輪分子泵大量用于PFEIFFER、Agilent（VARIAN）、 Ulvac、INFICON、VST、ABI、SHIMADZU等分析設備及氦檢儀中分析儀器如氦質(zhì)譜檢漏儀，及小型分子泵組中。德國普發(fā)PFEIFFER TMH071 P分子泵進(jìn)氣法蘭口DN63 ISO-KF/DN63 CF-F，出氣法蘭口DN16ISO-KF，抽速可達到60L/s, 轉速為90000rpm,極限真空＜1*10E8mBAR; 對應的控制器為PFEIFFER TC600.

當今，現代化的半導體行業(yè)中，越來(lái)越多地應用渦輪分子泵。如濺射、刻蝕、蒸發(fā)、注入、分子束外延、離子加工等設備都需要在真空環(huán)境下運行。又如電子顯微鏡，表面分析儀器，殘余氣體分析儀及氦質(zhì)譜檢漏儀等也經(jīng)常使用渦輪分子泵來(lái)抽真空。此外，在宇宙模擬設備、核聚變裝置、太陽(yáng)能集熱管鍍膜生產(chǎn)線(xiàn)上也都改用大型渦輪分子泵或低溫泵來(lái)代替油擴散泵系統，以防止油蒸汽的污染。因此，z近十幾年來(lái)，渦輪分子泵，在國內、外都得到了顯著(zhù)的改進(jìn)和發(fā)展。在渦輪分子泵的應用日益增加干式的前級泵還沒(méi)有大量普及和應用的情況下，有時(shí)還不得不用油封機械泵來(lái)作渦輪分子泵的前級泵。因此，針對這種現狀，對渦輪分子泵的合理選用和正確操作是很重要的。

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