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廣州潽拓光電科技有限公司——普發(fā)分子泵分子泵真空機組

Pfeiffer普發(fā) HiPace 1500UC渦輪分子泵維修，德國普發(fā)HiPace1500UC分子泵,適用于工業(yè)環(huán)境，可以安裝在任何方向,簡(jiǎn)單可靠的集成系統,對氣體中的灰塵和小顆粒不敏感,Pfeiffer HiPace 1500UC普發(fā)渦輪分子泵進(jìn)氣法蘭口DN250 ISO-F/DN250 ISO-K/ DN250 CF-F，出氣法蘭口DN40 ISO-KF，抽速可達到1100L/s - 1450 L/s，轉速；37800，極限壓力：1X10-7

高真空機組

①選好主泵，主泵有擴散泵、分子泵、濺射離子泵、鈦泵、低溫泵等。

②選好預抽泵、儲氣管(防震、縮短工作周期、防止真空室內瞬間大量放氣、穩定擴散泵出口壓力)

超高真空機組

主泵極限真空度要高、漏氣率要低、耐200~450℃烘烤。

①擴散泵機組：降低返流、控制污染;

②分子泵機組：對氫壓縮比小，殘余氣體主要是氫;

③濺射離子泵機組：通常與鈦泵聯(lián)合使用;

④低溫泵機組：無(wú)污染。

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真空泵維修后的安裝要求

1.安裝前應檢查機組緊固件有無(wú)松動(dòng)現象，泵體流道有無(wú)異物堵塞，以免泵運行時(shí)損壞旋片和泵體。

2.安裝時(shí)管道重量不應加在泵上，以免使泵變形。

3.安裝時(shí)必須擰緊地腳螺栓，以免起動(dòng)時(shí)振動(dòng)太大，影響泵的使用性能。

4.為了維修方便和使用安全，在泵的進(jìn)出口管路上各安裝一只調節閥及在泵出口附近安裝一只壓力表

5.保證在額定揚程和流量范圍內運行，延長(cháng)泵的使用壽命。

6.安裝后撥動(dòng)泵軸，旋片應無(wú)摩擦或卡死現象，否則應將泵拆開(kāi)檢查原因。

德國普發(fā)Pfeiffer分子泵控制器TC600適用于：

Pfeiffer TMH071分子泵,Pfeiffer TMH071P分子泵

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因離子泵的外殼兩側有一塊大的馬蹄形磁鐵，烘烤溫度一般不能超過(guò)說(shuō)明書(shū)所規足的溫度值。在烘烤時(shí)嚴禁撞擊、敲打泵殼。因在高溫下撞擊、敲打，磁鐵的磁性容易，從而影響抽氣速率和極限真空，也可能會(huì )振斷鹵素燈或紅外加熱管中的加熱絲。當不處在烘烤時(shí)，允許偶爾使用螺釘的木質(zhì)或塑料端頭去適當敲擊其外殼，使沉積在陽(yáng)極內壁和陰極表面的粉塵顆粒脫落，有助于提高抽氣速率。

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國外干泵市場(chǎng)的不斷增長(cháng)，其主要驅動(dòng)來(lái)自于半導體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展。在日本，半導體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機械泵，歐美半導體行業(yè)45％以上用干式真空泵代替了油封式機械泵，大大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿(mǎn)足不同應用領(lǐng)域和不同工況的要求，國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復式活塞真空泵以及渦輪式無(wú)油真空泵等。所以，我國應大力研究開(kāi)發(fā)干泵，使干泵成為我國真空工業(yè)新的經(jīng)濟增長(cháng)點(diǎn)。 維修普發(fā)真空泵

潽拓維修/維修/保養/銷(xiāo)售Pfeiffer普發(fā)TMU系列：

TMU064、TMU065、TMU071、TMU200M、TMU260、TMU261、TMU262、 TMU262X、TMU262P、TMU400M、TMU520、TMU521、TMU1000、TMU1001P、TMU1600、TMU1601、TPD011、TPD020、TPD021-0.3、TPD022等

在分子流范圍內（即低于 10-3 mbar (0.75 x 10-3 Torr) 的壓力），氣體分子的平均自由程遠大于轉子和定子葉片之間的間距（通常為十分之幾毫米）。相應地，分子主要與密集的轉子葉片發(fā)生碰撞，從而產(chǎn)生gao效的抽氣作用。在層流（恒流）范圍內（即高于 10-1 mbar (0.75 x 10-1 Torr) 的壓力），分子之間的頻繁碰撞會(huì )影響轉子的抽氣效率。  

因此，渦輪分子泵不能在大氣壓力下工作

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